保定全一研發的針對半導體硅片行業的腐蝕清洗機可以實現清洗、烘干一體化功能。而且清洗工位、烘干工位可以實現自動升降功能,大大降低勞動力。
硅片腐蝕清洗設備主要由HF腐蝕槽、溢流槽(頂部設滑動平臺)、氣鼓漂洗槽、風干工位、升降工位、氣鼓系統、滾輪、液位計、可移動風刀、整體接水盤、排風系統、整機框架及外封板、安全門及電氣控制系統等組成。
清洗時人工將提籃放置于選中工位的待料位,操作開關使之下降至HF腐蝕槽內進行腐蝕清洗,到達設定時間后選中的升降工位上升至待料上位,人工將清洗提籃滑動至氣鼓漂洗槽相對應的待料上位上,操作升降工位下降至氣鼓漂洗槽進行氣鼓漂洗,到達設定時間后操作升降工位上升至待料上位,人工將清洗提籃搬運至風干工位進行風干,移動風刀開啟對工件表面進行吹風,風干完成后人工將清洗提籃取走即可。
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